可測(cè)薄膜的導(dǎo)電與防靜電體積電阻率測(cè)試儀

     可測(cè)薄膜的導(dǎo)電與防靜電體積電阻率測(cè)試儀采用標(biāo)準(zhǔn)的四電極，可以測(cè)量測(cè)量20個(gè)數(shù)量級(jí)范圍的電阻率。

一、基本參數(shù)

二、技術(shù)參數(shù)

（1）測(cè)量范圍：10^-9Ω.m ～10¹¹Ω.m （*另配測(cè)試三電極和電源，可以測(cè)量體積電阻率達(dá)10¹⁹Ω.m）
（2）準(zhǔn)確度：1%
（3）靜電電壓：100mV～±200V，輸入電阻≥10¹⁴Ω(100TΩ)，0.5%
（4）電流：1×10^-15A (飛安fA), 0.5%
（5）電壓源：0-100V
（6）測(cè)試屏蔽箱
     (注：不同的標(biāo)準(zhǔn)有不同的電極,請(qǐng)訂貨時(shí)請(qǐng)說明)。
（7）絕緣板：　≥100TΩ.m (10¹⁴Ω.m)

1.開機(jī)或測(cè)量前或測(cè)量完畢將開關(guān)撥到“ZERO”位置為防止意外的靜電對(duì)靜電計(jì)損壞，以保護(hù)靜電計(jì)免受靜電放電或其它過電壓而損壞或影響其測(cè)量性能，接輸入線或開機(jī)前一定要將開關(guān)撥到“ZERO”位置，此時(shí)機(jī)內(nèi)通過一個(gè)10M的電阻接地，此時(shí)的靜電計(jì)成了一臺(tái)普通的±200VDC直流數(shù)字電壓表。

2.開啟電源，顯示器應(yīng)發(fā)紅光，在無信號(hào)輸入或?qū)⑤斎刖€兩端短路時(shí)調(diào)零如果顯示不為000，調(diào)整“ZERO ADJ.”使顯示為000,注意：應(yīng)該在撥出輸入線無信號(hào)輸入時(shí)調(diào)零，否則調(diào)不到0 且會(huì)產(chǎn)生大的誤差。

3.將輸入測(cè)量電纜線與儀表輸入端連接好輸入線與要測(cè)量靜電電壓的物體相接，并確保在測(cè)量過程中電壓不超過±15  200VDC，以免損壞靜電計(jì)

4.如果顯示 1，就將量程開關(guān)撥到更高的量程。

5.測(cè)量完畢將開關(guān)撥到“ZERO”以保護(hù)靜電計(jì)在輸入短路時(shí)機(jī)內(nèi)是通過一個(gè)10M電阻接好而不是真正的短接。這是為防止受靜電放電而損壞或影響其測(cè)量性能。

五、注意事項(xiàng)

1、開機(jī)測(cè)量前或測(cè)量完畢將開關(guān)撥到“ZERO”位置以保護(hù)儀器不受意外靜電放電面損壞

2.不允許測(cè)量超出該量程的電壓，在測(cè)量過程中確保輸入電壓不超過±200VDC，超出該量程時(shí)應(yīng)換較大的量程有可能損壞靜電計(jì)。（雖然儀器有保護(hù)措施，但過電壓會(huì)使靜電計(jì)的性能下降）。超出范圍時(shí)顯示“1”。

3.應(yīng)避免帶高電壓的物體及人體對(duì)輸入端接觸或放電靜電放電損壞儀表內(nèi)高輸入阻抗的靜電放大器，極容易因靜電放電造成損壞，在測(cè)量過程中手或其它物體不能接觸輸入端以防靜電防電造成損失。

4.機(jī)內(nèi)有危險(xiǎn)的高壓，不要隨便打開儀器，以免電擊。

5.輸入電纜線應(yīng)使用高絕緣聚乙烯屏蔽電纜線，否則會(huì)影響輸入阻抗。

6.在測(cè)量輸入阻抗極高的電壓源或測(cè)量微小電流時(shí)要屏蔽由于其輸入電阻極高且靈敏度很高，開機(jī)時(shí)若有機(jī)內(nèi)或機(jī)外靜電的影響，可能會(huì)超量程而使顯示為＂1＂，遇此種情況，將輸入短路后，關(guān)電源30秒左右重新開機(jī)即可恢復(fù)到＂0＂，也可重復(fù)這一過程。